在使用真空炉进行油淬热处理的过程中，在低真空的压强下面，真空淬火油的冷却能力下降，对于某些钢来说，可能达不到淬火的目的。
为此，在使用真空炉淬火前需要向淬火室内充入高纯的中性或惰性气体，在油面上造成一定的压强，就可以实现钢的充分淬火并获得光亮的表面。能够获得与在大气压下相同的淬火硬度的低液面压强称为临界淬火压强。临界淬火压强与真空淬火油的特性和钢的淬硬性有关。
在使用真空炉对淬硬性较差的钢进行淬火时，应该选用先充气后入油的方式进行淬火。油面压强应该高于临界淬火压强。一般调节在5×104Pa左右，但是不宜低于1.0×104Pa。对于中等淬硬性的钢也应该采取先充气后入油的方式进行淬火处理。油面的压强可以调节在1.0×104Pa左右，但是不能低于5×103Pa。
淬硬性很好的钢可以采取充气或者不充气的方式进行淬火，采取充气的方式，可以在真空炉的加热室先充气后入油，也可以先入油后充气。采取先充气的方式时充气压强可在(2.5~5)×104Pa范围内选定。
为了防止和减少蒸汽进入并污染马弗炉的加热室，应该选用较高的充气压强，所用的气体应为高纯的中性或惰性气体。
工件畸变小是真空气氛炉的一个非常重要的优点。据国内外经验，气氛炉的畸变量仅为盐浴加热淬火的三分之一。研究各种材料、不同复杂程度零件的真空加热方式和各种冷却条件下的畸变规律，并用计算机加以模拟，对于推广真空气氛炉技术具有重要意义。真空加热、常压或高压气冷淬火时气流均匀性对零件淬硬效果和质量分散度有很大影响。采用计算机模拟手段研究炉中气流循环规律，对于改进炉子结构变具有重要意义。真空渗碳是实现高温渗碳的可能的方式。
但在高温下长时间加热会使大多数钢种的奥氏体晶粒度长得很大，对于具体钢材高温渗碳，重新加热淬火对材料和工件性能的影响规律加以研究，对优化真空渗碳、冷却、加热淬火工艺和设备是很有必要的。近几年，国际上有研究开发使用气体燃料的燃烧式真空炉的动向。在真空气氛炉采用气体燃料加热的困难太多，虽然有节约能源的说法，但不一定是一个重要的发展方向。
真空气氛炉使用应注意的细节有哪些呢?真空气氛炉的升温，必须缓慢地用逐渐提高电压的办法进行。注意不要超过一定温度，以免烧毁电热丝。在工作使用中，气氛炉的炉膛内不宜放入含有酸、碱性之化学品或强烈的氧化剂，更不许在炉内灼烧有爆炸危险的物品。将物料放入炉膛时，切勿碰及热电偶，因伸入炉膛内的热电偶热端在高温下易于折断。
将金属以及其它矿物放入高温炉内加热时，必须置于耐高温的瓷坍涡或瓷皿中，或垫以耐火泥板或石棉板，防止与炉膛粘连在一起。但是在使用真空气氛炉时，勿使其受剧烈振动，因红热的炉丝极易脆断。
真空气氛炉的炉膛是由复合摩根纤维材料经独特工艺构筑而成，直接和加热材料接触，炉膛的作用是耐高温，在高温条件下和其他的电炉部件隔离开，不至于其他部件被高温损坏。
在此需要大家知道的是，一旦台车炉的炉膛出现损坏，如果不能及时维修那么就造成电炉其他部件损坏，因此经常检查电炉炉膛是否损坏是非常关键的。