冷却系统是高温真空气氛炉的重要部分。冷却水路应保持畅透，否则水温升高造成停机。这是高温真空气氛炉工作时常披忽视的问题当无人管理时可能会导致高温真空气氛炉的重大毁坏。用生物分解化学辅助方法处理冷却水，目的是保持矿物质呈悬浮态，减少橡皮管、蛇形管和水套内沉淀物累积，以使水流畅通。这一般采用一种自动装置来完成，它可以监测水的导电性，自动补充化学剂，冲冼水路，添加新鲜水。与附属蒸气过滤系统配合，这种方法还可以保证水的pH值控制，防止在冷却水系统中多余矿物质沉积。在系统工作稳定后，至少应每月一次进行水质试验以防过处理或欠过理。高温真空气氛炉外壳和热交换器材料的试验样品也应放在水路系统中，每年做一次重量损失检验以检查处理的效果。对扩散泵的蛇形管冷却器须特别注意。应该经常检查。如果堵塞了，扩散泵将会过热并丧失功能，而且还进一步引起扩散泵加热器烧毁，造成昂贵的、费时的修理。当蛇形冷却水管堵塞时，将水路同水源断开，排水并用压缩空气吹通或用稀醋酸溶液冲洗。
高温真空气氛炉是在真空环境中进行加热的设备，一般由炉膛、电热装置、密封炉壳、真空系统、供电系统和控温系统等组成。高温真空气氛炉按加热元件分为真空电阻炉、真空感应炉、真空电弧炉、真空自耗电弧炉、电子束炉和等离子炉等。
高温真空气氛炉一般在春秋季节泄漏故障较多，长期闲置的高温真空气氛炉在才次使用时高温真空气氛炉泄漏故障比较易发生。这时间就须进行真空检漏，真空检漏一般采取每月一次测压升率(在常温下，关闭所有真空阀，停止真空系统运转，10min后读一个数，1h后再读一个数，两数之差是压升率的数值)，掌握设备泄漏变化趋势，如真空设备连续停机一个礼拜，要空运转一次(进行烘炉)。
真空气氛炉测量温度:
炉膛炉的炉温通常在用热电偶测量后在温度控制器上测量。
温度测量环也可用于测量马弗炉的温度。在测量过程中，将温度测量环放在刚玉坩埚的内盖上并放入炉中，然后升高温度。达到设定值后，将电炉保温1小时，然后冷却。炉子冷却后，打开盖子取出温度测量环。
用千分尺测量温度测量环的直径几次，取平均值，并根据温度测量环的对比表读取温度。然后记录下来。温度测量环的温度测量相对准确，常用马弗炉的温度校准也用于测量马弗炉的温度场。
真空气氛炉是一种先进实验设备，适用于金属、纳米、单晶硅、多晶硅、电池等的扩散焊接以及真空气体保护下，气氛热处理的加热设备。主要用于材料试验、合成、烧结等。炉体保温性能良好，节能环保。真空气氛炉还可用于、复合材料、粉体材料、结构陶瓷、合金的真空热压烧结。
真空气氛炉的特点是在必定的温度下，向炉内引入必定身分的人工配制氛围，以到达气体渗碳、碳氮共渗和光明淬火、退火、正火等热处置惩罚的目的炉体、内罐移动支架、电阻丝加热系统、温度节制及显示系统。
使用真空气氛炉淬火时，除应按照钢材牌号、工件形状尺寸及技术要求合理选择淬火工艺外，还应注意淬火操作。假如操作不妥，工件也会出现硬度不够、变形、开裂等缺陷
