高温真空气氛炉子升温后，不能突然破坏真空系统，更不可打开高温真空气氛炉炉门。注意充大气进去前,应关闭真空计开关,防止真空计老化。当温度高于400℃时，不得急剧冷却。对于真空加热元件在温度高、真空度不好以及冷热变化大情况下，容易引起氧化。对于钼加热炉，正常使用维护中注意应冷却至200℃以下方可停送保护氮气。80℃以下才能打开炉门。
真空气氛炉测量温度:
炉膛炉的炉温通常在用热电偶测量后在温度控制器上测量。
温度测量环也可用于测量马弗炉的温度。在测量过程中，将温度测量环放在刚玉坩埚的内盖上并放入炉中，然后升高温度。达到设定值后，将电炉保温1小时，然后冷却。炉子冷却后，打开盖子取出温度测量环。
用千分尺测量温度测量环的直径几次，取平均值，并根据温度测量环的对比表读取温度。然后记录下来。温度测量环的温度测量相对准确，常用马弗炉的温度校准也用于测量马弗炉的温度场。
真空气氛炉是一种先进实验设备，适用于金属、纳米、单晶硅、多晶硅、电池等的扩散焊接以及真空气体保护下，气氛热处理的加热设备。主要用于材料试验、合成、烧结等。炉体保温性能良好，节能环保。真空气氛炉还可用于、复合材料、粉体材料、结构陶瓷、合金的真空热压烧结。
真空气氛炉的特点是在必定的温度下，向炉内引入必定身分的人工配制氛围，以到达气体渗碳、碳氮共渗和光明淬火、退火、正火等热处置惩罚的目的炉体、内罐移动支架、电阻丝加热系统、温度节制及显示系统。
使用真空气氛炉淬火时，除应按照钢材牌号、工件形状尺寸及技术要求合理选择淬火工艺外，还应注意淬火操作。假如操作不妥，工件也会出现硬度不够、变形、开裂等缺陷
真空气氛炉的气密性：为了控制炉中的气氛并保持炉中的压力，须始终将炉中的工作空间与外界空气隔离，并尽力避免漏气和进气。 因此，炉壳，砖石，炉门以及风机，热电偶，辐射管，推拉式供料器等所有外部连接件均采用密封装置；炉内气氛控制，为了在炉中保持的碳势，除了控制气氛成分的稳定性之外，还须自动控制炉的气氛。 因此，需要提供各种控制仪器以便连续或周期性地测量和调节炉中的气体供应。