高温真空气氛炉子升温后，不能突然破坏真空系统，更不可打开高温真空气氛炉炉门。注意充大气进去前,应关闭真空计开关,防止真空计老化。当温度高于400℃时，不得急剧冷却。对于真空加热元件在温度高、真空度不好以及冷热变化大情况下，容易引起氧化。对于钼加热炉，正常使用维护中注意应冷却至200℃以下方可停送保护氮气。80℃以下才能打开炉门。
真空气氛炉测量温度:
炉膛炉的炉温通常在用热电偶测量后在温度控制器上测量。
温度测量环也可用于测量马弗炉的温度。在测量过程中，将温度测量环放在刚玉坩埚的内盖上并放入炉中，然后升高温度。达到设定值后，将电炉保温1小时，然后冷却。炉子冷却后，打开盖子取出温度测量环。
用千分尺测量温度测量环的直径几次，取平均值，并根据温度测量环的对比表读取温度。然后记录下来。温度测量环的温度测量相对准确，常用马弗炉的温度校准也用于测量马弗炉的温度场。
真空气氛炉是由马弗炉演化而成，主要的目的是在高温烧结的情况通入某种特定气体用于特殊热处理，或者对热处理的样品进行保护防止氧化，真空气氛炉具有完美的性能设计，集多项专利于一身，安全性，可靠性，实用性均达好的效果。
真空气氛炉的特点是，在给定温度下，将量的人工制备的气氛引入炉中以实现某种类型的热处理，例如气体渗碳，碳氮共渗和光亮淬火，退火，正火等。