高温真空气氛炉是在真空环境中进行加热的设备，一般由炉膛、电热装置、密封炉壳、真空系统、供电系统和控温系统等组成。高温真空气氛炉按加热元件分为真空电阻炉、真空感应炉、真空电弧炉、真空自耗电弧炉、电子束炉和等离子炉等。
高温真空气氛炉一般在春秋季节泄漏故障较多，长期闲置的高温真空气氛炉在才次使用时高温真空气氛炉泄漏故障比较易发生。这时间就须进行真空检漏，真空检漏一般采取每月一次测压升率(在常温下，关闭所有真空阀，停止真空系统运转，10min后读一个数，1h后再读一个数，两数之差是压升率的数值)，掌握设备泄漏变化趋势，如真空设备连续停机一个礼拜，要空运转一次(进行烘炉)。
真空气氛炉在操作过程中需要注意以下几点：
1、炉芯位置确定要准确，反应箱须垂直吊放，高度适中，放置端正，两排箱体之间保持等距，定保炉芯宽度尺寸无误。反应箱四角与端墙缝隙处，用纸填实。
2、开车人员须听从装炉操作人员指挥，密切配合。真空气氛炉放置炉底乏料，要用钢尺插量三点(两端及中间)，按规定尺寸检查，炉头四角的乏料要装足踩实，防止流盐烧墙。
3、每放完一部炉料后，料斗闭合器要关严密。炉料装完后，洒在端墙拉杆上的乏料或石墨要清理干净，卷扬机小车停放在***位置，压起顶轴，用盖盖好，并将所装炉号及装炉异常情况填入工艺卡片，随炉传送托车组。
4、吊反应箱时，应指挥吊车摆正位置，垂直提升。须待箱体全部拨出后，才能开动大车吊走。严禁真真空真空气氛炉的炉车在运行中吊反应箱。放反应箱时，按顺序摆放。装炉工应将去掉的四链钩放于箱体之内，以免起钩时挂住外沿使箱体移动位置或箱体碰伤操作人员。
真空气氛炉的气密性：为了控制炉中的气氛并保持炉中的压力，须始终将炉中的工作空间与外界空气隔离，并尽力避免漏气和进气。 因此，炉壳，砖石，炉门以及风机，热电偶，辐射管，推拉式供料器等所有外部连接件均采用密封装置；炉内气氛控制，为了在炉中保持的碳势，除了控制气氛成分的稳定性之外，还须自动控制炉的气氛。 因此，需要提供各种控制仪器以便连续或周期性地测量和调节炉中的气体供应。
真空气氛炉是由马弗炉演化而成，主要的目的是在高温烧结的情况通入某种特定气体用于特殊热处理，或者对热处理的样品进行保护防止氧化，真空气氛炉具有完美的性能设计，集多项专利于一身，安全性，可靠性，实用性均达好的效果。
真空气氛炉的特点是，在给定温度下，将量的人工制备的气氛引入炉中以实现某种类型的热处理，例如气体渗碳，碳氮共渗和光亮淬火，退火，正火等。