冷却系统是高温真空气氛炉的重要部分。冷却水路应保持畅透，否则水温升高造成停机。这是高温真空气氛炉工作时常披忽视的问题当无人管理时可能会导致高温真空气氛炉的重大毁坏。用生物分解化学辅助方法处理冷却水，目的是保持矿物质呈悬浮态，减少橡皮管、蛇形管和水套内沉淀物累积，以使水流畅通。这一般采用一种自动装置来完成，它可以监测水的导电性，自动补充化学剂，冲冼水路，添加新鲜水。与附属蒸气过滤系统配合，这种方法还可以保证水的pH值控制，防止在冷却水系统中多余矿物质沉积。在系统工作稳定后，至少应每月一次进行水质试验以防过处理或欠过理。高温真空气氛炉外壳和热交换器材料的试验样品也应放在水路系统中，每年做一次重量损失检验以检查处理的效果。对扩散泵的蛇形管冷却器须特别注意。应该经常检查。如果堵塞了，扩散泵将会过热并丧失功能，而且还进一步引起扩散泵加热器烧毁，造成昂贵的、费时的修理。当蛇形冷却水管堵塞时，将水路同水源断开，排水并用压缩空气吹通或用稀醋酸溶液冲洗。
高温真空气氛炉子升温后，不能突然破坏真空系统，更不可打开高温真空气氛炉炉门。注意充大气进去前,应关闭真空计开关,防止真空计老化。当温度高于400℃时，不得急剧冷却。对于真空加热元件在温度高、真空度不好以及冷热变化大情况下，容易引起氧化。对于钼加热炉，正常使用维护中注意应冷却至200℃以下方可停送保护氮气。80℃以下才能打开炉门。
真空气氛炉在应用的时候，必须注意到其操作部件必须通过清洁、干燥以后才能够进到炉内，而且要注意避免水份、污物进到炉内。应用者在应用箱式真空气氛炉的过程中，如遇到各传动件呈现卡位、控制失灵等状况时，应用者应要立即排除缺点，不可以强操作避免毁坏机件。
在使用完真空气氛炉以后，其要注意经常应用的清洁刷子或者是炉内吸尘器等清洁炉膛。还有，使用者要避免炉内杂质掉在设备的电热元件以造成短路或者是烧坏钼加热棒的状况发生。此外，使用者还要注意对设备的底板、炉保温层等耐热钢部件的整理。
真空气氛炉是由马弗炉演化而成，主要的目的是在高温烧结的情况通入某种特定气体用于特殊热处理，或者对热处理的样品进行保护防止氧化，真空气氛炉具有完美的性能设计，集多项专利于一身，安全性，可靠性，实用性均达好的效果。
真空气氛炉的特点是，在给定温度下，将量的人工制备的气氛引入炉中以实现某种类型的热处理，例如气体渗碳，碳氮共渗和光亮淬火，退火，正火等。