冷却系统是高温真空气氛炉的重要部分。冷却水路应保持畅透，否则水温升高造成停机。这是高温真空气氛炉工作时常披忽视的问题当无人管理时可能会导致高温真空气氛炉的重大毁坏。用生物分解化学辅助方法处理冷却水，目的是保持矿物质呈悬浮态，减少橡皮管、蛇形管和水套内沉淀物累积，以使水流畅通。这一般采用一种自动装置来完成，它可以监测水的导电性，自动补充化学剂，冲冼水路，添加新鲜水。与附属蒸气过滤系统配合，这种方法还可以保证水的pH值控制，防止在冷却水系统中多余矿物质沉积。在系统工作稳定后，至少应每月一次进行水质试验以防过处理或欠过理。高温真空气氛炉外壳和热交换器材料的试验样品也应放在水路系统中，每年做一次重量损失检验以检查处理的效果。对扩散泵的蛇形管冷却器须特别注意。应该经常检查。如果堵塞了，扩散泵将会过热并丧失功能，而且还进一步引起扩散泵加热器烧毁，造成昂贵的、费时的修理。当蛇形冷却水管堵塞时，将水路同水源断开，排水并用压缩空气吹通或用稀醋酸溶液冲洗。
高温真空气氛炉是在真空环境中进行加热的设备，一般由炉膛、电热装置、密封炉壳、真空系统、供电系统和控温系统等组成。高温真空气氛炉按加热元件分为真空电阻炉、真空感应炉、真空电弧炉、真空自耗电弧炉、电子束炉和等离子炉等。
高温真空气氛炉一般在春秋季节泄漏故障较多，长期闲置的高温真空气氛炉在才次使用时高温真空气氛炉泄漏故障比较易发生。这时间就须进行真空检漏，真空检漏一般采取每月一次测压升率(在常温下，关闭所有真空阀，停止真空系统运转，10min后读一个数，1h后再读一个数，两数之差是压升率的数值)，掌握设备泄漏变化趋势，如真空设备连续停机一个礼拜，要空运转一次(进行烘炉)。
真空气氛炉的特征是将一定成分的人造气氛在一定温度下送入炉中，以达到一定的热处理目的，如气体渗碳，碳氮共渗和光亮淬火，退火，正火等。真空气氛炉内工作空间始终要与外界空气隔绝，尽量避免漏气和吸入空气，故要求炉壳，砌体，炉门及所有外界连接零件如风扇，热电偶，辐射管，推拉料机等采用密封装置；它主要用于实验室，工矿企业，科研等单位，对合金钢，有色金属材料和黑色金属材料进行无氧正火和再加热。
真空气氛炉淬火油槽搅拌故障时，油槽加热和淬火不能进行，防止油温局部过热；淬火油槽油位低于设定值时，油槽加热不能进行，防止油槽着火；炉门火帘未点燃时，炉门不能打开；加热室有炉料时，向加热室装料的动作不能执行；气冷室有炉料时，淬火升降台上升的动作不能进行；淬火油槽占据时，出炉淬火的动作不能进行；淬火升降台上料盘位置不正确，升降台不下降淬火；本设备接头、传动部件都有防护罩。