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触头开距小，10KV真空断路器的触头开距只有10mm左右，操作机构的操作功就小，机械部分行程小，其机械寿命就长。燃弧时间短，且与开关电流大小无关，一般只有半周波。熄弧后触头间隙介质恢复速度快，对开断近区故障性能较好。由于疏通在开断电流时磨损量较小，所以触头的电气寿命长，满容量开断达30-50次，额定电流开断达5000次以上，噪音小适于频繁操作。体积小、重量轻，适用于开断容性负荷电流。由于其优点很多，所以广泛应用于变电站中，目前型号主要有：ZN12-10型、ZN28A-10型、ZN65A-12型、ZN12A-12型、VS1型、ZN30型等。真空断路器主要包含大部分：真空灭弧室、电磁或弹簧操动机构、支架及其他部件。按照开关型式不同有外屏蔽罩式陶瓷真空灭弧室、中间封接杯状纵磁场小型化真空灭弧室、内封接式玻璃泡灭弧室，其基本结构如下：气密绝缘系统(外壳)：由陶瓷、玻璃或微晶玻璃制成的气密绝缘筒、动端盖板、定端盖板、不锈钢波纹管组成的气密绝缘系统是一个真空密闭容器。
70年代以后，中国已能独立研制和生产各种规格的真空开关。真空断路器通常可分多个电压等级。低压型一般用于防爆电气使用。额定电流达到5000A，开断电流达到50kA的较好水平，并已发展到电压达35kV等级。
为使产品多功能化，从现有产品看，有两种做法：一是真空断路器相柱在开断后移动或旋转，形成隔离和接地；另一是真空灭弧室内触头旋转完成隔离和接地。西门子NXAct型产品为开断后相柱移动完成隔离和接地，而Alstom为开断后相柱旋转完成隔离任务，日立通过灭弧室内触头旋转完成隔离和接地任务。 同步断路器又叫选相真空断路器或受控真空断路器。其基本原理是使真空断路器在电压或电流有利时刻关合或开断。
、低过电压型真空断路器 众所周知，真空断路器因截流会引起截流过电压，特别在开断小的感性负截如电动机时，一般情况下，为限制过电压而给真空断路器配过电压吸收装置如SicRC 路，ZnO避雷器等，这使断路器结构庞大且复杂化，而且有的限制过电压不理想。