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为解决现有技术喷管居外安装喷管膨胀率较低、能效较低的问题，解决现有技术2存在的构造复杂制造成本高等缺陷，本发明增加了一个将喷管居内圈安装于涡轮上的方案，其具体构造参见说明书实施例附图。为解决现有技术5因采用全面高真空度的抽吸方式来维持喷管真空喷射状态所造成的真空泵能耗大的问题，本发明改用从做功气流尾部抽吸的方式，用C形气道封闭主做功气流，气道凹面选用较为深凹的弧形来提高气道出口端的气体密度，并将C形气道出口缩窄，选用高度较小的和出口处气流厚度基本一致的出口高度，确保从各C形气道排出的气体之间不留膨胀空间从而确保气体排出气道后不立刻膨胀来提高出口后的气体密度。真空泵通过连通腔抽吸C形气道排出的气体，因为从各气道排出的气体密度较高，逐渐降低真空泵的真空度也能保持足够的抽吸速度，真空度越低，真空泵功耗也越低，所以本发明不降低涡轮膨胀机能效的前提下能降低真空泵的功耗。
本发明涉及制冷和发动机领域，尤其涉及一种真空膨胀涡轮装置。1 中国专利申请.4公开一种空气真空喷射深度制冷装置及其实现深度制冷的方法，所述装置包括涡轮膨胀机，涡轮膨胀机由涡壳，涡轮轴，设在涡轮轴上的涡轮叶轮，以及设在涡壳上的多个缩放喷管，涡轮轴一端固定涡轮叶轮，另一端与发电机或其它做功机械相连，设在涡轮膨胀机涡壳上的缩放喷管与大气相通，涡轮膨胀机低压端出口经连接管与低温室一端连接，低温室另一端设有风道，风管末端设有真空泵。在真空泵的抽吸作用下，进入涡轮膨胀机的常温常压空气可以膨胀到很低的压力，可以达到极低的温度，真空泵的真空度越高，低温室的温度越低，满足了需要深度制冷的生产或科研机构的需求。该发明制冷效率高，系统的主要功耗在于真空泵，涡轮膨胀机的输出功可以折减部分真空泵的功耗，从而大大提高制冷效率。但仍存在以下缺点：
同时微小的触头距离下也会形成极高的电场强度，造成强烈的场致发射，间隙击穿，继而形成真空电弧。真空电弧一旦形成，就会出现电流密度在104A/cm2以上的阴极斑点，使阴极表面局部区域的金属不断熔化和蒸发，以维持真空电弧。在电弧熄灭后，电极之间与电极周围的金属蒸气迅速扩散，密度快速下降直到零，触头间恢复高真空绝缘状态。
2. 保障产品质量：由于真空磁阀具有优异的密封性能和稳定的控制特性，能够有效地保障生产过程中产品的质量稳定性。它能够确保生产过程中真空度的稳定和可控，避免因真空泄漏等问题导致产品质量不稳定。3. 减少能源消耗：真空磁阀能够根据系统需求自动进行开关控制，避免了长时间开启状态下的能源浪费。它能够根据实际需求灵活调整系统工作状态，大限度地减少能源消耗。4. 降低维护成本：由于真空磁阀具有良好的耐腐蚀性能和稳定的工作特性，能够减少系统维护成本。它能够长期稳定地工作在恶劣环境下，减少了因元件损坏导致的维护成本和停机时间。
真空电容器募投项目进展顺利，产能落地助力业绩释放。在半导体领域持续进行长寿命真空电容器研发，截至2022H1，已累计投入1146.24万元进行新型真空电容器系列产品研发，累计投入进度72%。当前产品已导入国内头部半导体设备厂商（指定采购）及部分射频电源厂商，为满足日益增长的下游需求，将募金中1.36亿元用于扩建真空继电器及真空电容器产能，其中真空电容器预计于2022年底建成5万只/年的产能，当前整体累计投入进度已达76.86%。随着半导体设备国产化进度加速，真空电容器产能落地，业绩有望得到充分释放。