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(产品)宁德高纯氩气(2023更新中)(今日/热点)

作者:195p4r 时间:2023-11-12 02:37:15

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建议给予行政处罚的人员:夏某,男,陕西钛科法定代表人。对发生负有责任。发生后未及时上报情况,对迟报负有责任。建议依法给予行政处罚。另有多人建议予以问责或企业内部处理。(文|中国基建报 林雨润、郭政新)版权声明:本文系《中国基建报》原创报道,未经本报授权允许,严禁、抄袭、摘编,违者必究。

(产品)宁德高纯氩气(2023更新中)(今日/热点), 管式PECVD:基片位于一个电极上,直接接触等离子体(低频放电10-500kHz或高频13.56MHz)。目前市场上主要使用的是40kHz的频率。板式PECVD:基片不接触激发电极(如2.45GHz微波激发等离子)。当然,作为极其和可控的制造薄膜工艺——ALD原子层沉积和应用广泛的PVD物理气相沉积法,其过程都需要真空作为薄膜制备的基础环境。