在使用真空炉进行油淬热处理的过程中，在低真空的压强下面，真空淬火油的冷却能力下降，对于某些钢来说，可能达不到淬火的目的。
为此，在使用真空炉淬火前需要向淬火室内充入高纯的中性或惰性气体，在油面上造成一定的压强，就可以实现钢的充分淬火并获得光亮的表面。能够获得与在大气压下相同的淬火硬度的低液面压强称为临界淬火压强。临界淬火压强与真空淬火油的特性和钢的淬硬性有关。
在使用真空炉对淬硬性较差的钢进行淬火时，应该选用先充气后入油的方式进行淬火。油面压强应该高于临界淬火压强。一般调节在5×104Pa左右，但是不宜低于1.0×104Pa。对于中等淬硬性的钢也应该采取先充气后入油的方式进行淬火处理。油面的压强可以调节在1.0×104Pa左右，但是不能低于5×103Pa。
淬硬性很好的钢可以采取充气或者不充气的方式进行淬火，采取充气的方式，可以在真空炉的加热室先充气后入油，也可以先入油后充气。采取先充气的方式时充气压强可在(2.5~5)×104Pa范围内选定。
为了防止和减少蒸汽进入并污染马弗炉的加热室，应该选用较高的充气压强，所用的气体应为高纯的中性或惰性气体。
真空气氛炉即真空技术与热处理两个专业相结合的综合技术，是指热处理工艺的全部和部分在真空状态下进行的。我国将真空划分为低、中、高和超高真空。目前大多数气氛炉的工作真空度在1.33~1.33×10ˉ3Pa。
真空气氛炉几乎可实现全部热处理工艺，如淬火、退火、回火、渗碳、氮化，在淬火工艺中可实现气淬、油淬、硝盐淬火、水淬等，还可以进行真空钎焊、烧结、表面处理等。
炉热效率高，可实现尽快升温和降温，可实现无氧化、无脱碳、无渗碳，可去掉工件表面的磷屑，并有脱脂除气等作用，从而达到表面光亮净化的效果。一般来说，被处理的工件在真空气氛炉内加热缓慢，内热温差较小，热应力小，因而变形小。
同时，真空气氛炉产品合格率高。可降低成本，有除气作用，从而提高了工作的机械性能和使用寿命。工作环境好，没有污染和公害。被处理的工件没有氢脆危险，对钛材和难熔金属壳防止表面氢脆，气氛炉工艺的稳定性和重复性好。这一系列的优点，开发气氛炉设备和工艺被越来越重视和应用越来越广。
目前我国使用的真空气氛炉基本上都是单室或双室间歇式真空炉，其缺点是效率低、能耗大、成本高、产量小、不适合大批量生产。为了克服间歇式真空炉存在的上述缺点，满足现代工业大批量生产的需要。
华熔在多年研制单室、双室间真空气氛炉的基础上，针对连续式真空炉的关键性技术难题进行攻关，独立开发、精心设计，成功地研制出多室连续式真空炉。该产品为全自动流水线式多室组合机电一体化真空加热设备，其结构新颖，操作简便。
真空气氛炉是于二十世纪四十年代逐渐发展起来的重要的工业加热设备，广泛应用于钛、锆、钨、钼、铌等活性金属、难熔金属及其合金、铝箔、电工纯铁、软磁合金、铜管带等金属材料的无氧化光亮退火;高速工具钢、模具钢的光亮淬火;不锈钢、钛、铝、铜、硬质合金、高温合金、陶瓷等同种材料或异种材料之间的无钎剂真空钎焊;硬质合金、稀土永磁材料钕铁硼等粉末冶金材料的真空烧结;电子管、真空开关、不锈钢保温容器的真空排气与封接等等。在航空、航天、船舶、车辆、机械、电子、石化、工具、材料、家电等行业正日益发挥越来越大的作用。
真空气氛炉功率控制采用可拧肢调压器加大电流变压器，温度控制采用两台数显智能程序校制仪。
真空气氛炉的底板、钼加热棒、炉保温层等耐热钢构件每使用一段时间，应该进行清理，严禁敲击，可小心清除其氧化皮。氧化铁皮等杂质如不及时清除，就会熔融处与保温层发生打火，使钼丝熔化。
炉子升温后，不能突然破坏真空系统，更不可打开炉门。注意充大气进去前,应关闭真空计开关,防止真空计老化。当温度高于400℃时，不得急剧冷却。对于真空加热元件在温度高、真空度不好以及冷热变化大情况下，容易引起氧化。对于钼加热炉，正常使用维护中注意应冷却至200℃以下方可停送保护N2。80℃以下才能打开炉门。
冷却系统是真空气氛炉的重要部分。冷却水路应保持畅透，否则水温升高造成停机。这是气氛炉工作时常披忽视的问题当无人管理时可能会导致高温真空气氛炉的重大毁坏。用生物分解化学方法处理冷却水，目的是保持矿物质呈悬浮态，减少橡皮管、蛇形管和水套内沉淀物累积，以使水流畅通。这一般采用一种自动装置来完成，它可以监测水的导电性，自动补充化学剂，冲冼水路，添加新鲜水。