冷却系统是高温真空气氛炉的重要部分。冷却水路应保持畅透，否则水温升高造成停机。这是高温真空气氛炉工作时常披忽视的问题当无人管理时可能会导致高温真空气氛炉的重大毁坏。用生物分解化学辅助方法处理冷却水，目的是保持矿物质呈悬浮态，减少橡皮管、蛇形管和水套内沉淀物累积，以使水流畅通。这一般采用一种自动装置来完成，它可以监测水的导电性，自动补充化学剂，冲冼水路，添加新鲜水。与附属蒸气过滤系统配合，这种方法还可以保证水的pH值控制，防止在冷却水系统中多余矿物质沉积。在系统工作稳定后，至少应每月一次进行水质试验以防过处理或欠过理。高温真空气氛炉外壳和热交换器材料的试验样品也应放在水路系统中，每年做一次重量损失检验以检查处理的效果。对扩散泵的蛇形管冷却器须特别注意。应该经常检查。如果堵塞了，扩散泵将会过热并丧失功能，而且还进一步引起扩散泵加热器烧毁，造成昂贵的、费时的修理。当蛇形冷却水管堵塞时，将水路同水源断开，排水并用压缩空气吹通或用稀醋酸溶液冲洗。
高温真空气氛炉使用注意事项
1、工件--工件车须经清洗干燥后方克进入炉内，防止水份、污物进入炉内。
2、各传动件发现卡位，限位不准，控制失灵等现象时，应立即排除，不要强操作，以免损坏机件。
3、不能超负荷使用高温真空气氛炉，高温真空气氛炉的高使用温度是指元件在真空中允许的本身表面温度，并不是指加热物质的温度或加热元件周围的温度。要注意真空电热元件本身的温度一股比它周围的介质温度或被加热温度高100℃。
高温真空气氛炉是在真空环境中进行加热的设备，一般由炉膛、电热装置、密封炉壳、真空系统、供电系统和控温系统等组成。高温真空气氛炉按加热元件分为真空电阻炉、真空感应炉、真空电弧炉、真空自耗电弧炉、电子束炉和等离子炉等。
高温真空气氛炉一般在春秋季节泄漏故障较多，长期闲置的高温真空气氛炉在才次使用时高温真空气氛炉泄漏故障比较易发生。这时间就须进行真空检漏，真空检漏一般采取每月一次测压升率(在常温下，关闭所有真空阀，停止真空系统运转，10min后读一个数，1h后再读一个数，两数之差是压升率的数值)，掌握设备泄漏变化趋势，如真空设备连续停机一个礼拜，要空运转一次(进行烘炉)。
真空气氛炉为了保证气氛的稳定性，气氛炉可分为两种：马弗炉和无马弗炉。 马弗炉的火焰在马弗炉外面，工件在马弗炉中间接加热。 无马弗炉使用各种火焰。 辐射管或电辐射管将火焰或电加热体与炉气分开，以防止炉内气氛破裂。还原气体和空气以的混合比混合，并且在温度下容易引起爆炸。 因此，炉子的前，后，淬火和慢冷室都装有防爆装置。 有防爆措施。无马弗气氛炉使用还原性气体。 为了不影响砌体的使用寿命并且不破坏正常的炉内气氛，要求对炉体使用渗碳耐火材料。