真空烧结炉内衬的运转寿命直接影响着整个真空烧结炉的使用寿命。对真空烧结炉内壁厚度的检测，可采用以下方法：
应力波方法：应力波动信号对结构缺陷具有高度的敏感性，应力波在介质中传播时，在厚膜真空烧结炉界面上出现孔洞、裂纹等不连续现象，会引起反射、折射、散射和模式变换，利用应力波的特征可以确定材料的冷却壁厚度。
电容量法：电容法类似于电阻法，在厚膜真空烧结炉炉衬内埋设同轴圆电容器传感器，其电容值与其长度成对应关系，可通过测量其电容值来确定炉石厚度。采用上述方法，对炉衬的一些基本数据和性能进行了初步判断和确定，对电炉总体工作状态有所了解。
真空烧结炉底能够而且应该在相当高的温度和改变烧结材料数量及质量组成的情况下进行，以保证制作更坚固和寿命更高的炉底烧结层。在许多工厂已经成功地应用了采用氧化铁皮真空烧结炉底的方法。先进的真空烧结炉底方法推广较慢的原因是-缺乏被公认的烧结层形成过程的理论，结果产生了各种不同的烧结方法，对材料的选择和数量配比问题以及合理的温度制度的确定没有提出明晰的叙述。
真空烧结炉顾名思义就是在真空环境下对原料进行加热烧结的炉子，利用感应加热对被加热物品进行保护性烧结，利用中频感应加热的原理使硬质合金刀头及各种金属粉末压制体实现烧结的成套设备。常常被用于烘干硅片上的浆料、去除浆料中的有机成分、完成铝背场及栅线烧结等，真空感应烧结炉是在真空或保护气氛条件下。
在使用真空烧结炉工作时，试验中如果有液体存在，就需要一个液体蒸发的过程，可以通过长时间拉真空来气化掉这部分液体从而达到高真空。真空烧结炉的腔体内部要清洁作业，需求注重各气孔有无阻塞。有机排和热排的清洁作业，请用酒精清洁设备上的有机物等。炉体上的密封结构，真空系统等零部件拆装时，应用酒精或汽油清洗干净并经过干燥后，涂上真空油脂再组装上。
停炉后，炉内需保持在66.5LPA以下的真空度。另外，烧结炉的真空泵，阀门，测量仪器，热工仪表，电气元件等配套件，都须按照产品的技术说明使用、维修以及保养。
真空气氛烧结炉的特点：
1、真空清扫系统可完全避免qingqi与空气的混合，对采用高qingqi氛也完全适用，并可比单纯用大量保护气清扫炉膛的成本降低，加快炉内气氛的转换时间。
2、炉温均匀度好，炉内工件温差可控制在±5℃以内，被处理材料各部位机械性能好。
3、风机与炉台、内罩与炉台的连接部位采用PPM级气密性全密封结构，为气氛的安全使用创造了条件，被处理材料无脱碳、粘结现象，并能满足碳钢、合金钢等材质的光亮退火。
4、采用强对流风机，真空清扫，气、水组合冷却等新技术，可加快工艺周期，提高生产率，主要性能指标达到国外同类产品水平。
5、与分流冷却系统（长轴风机结构）相比，气、水组合冷却可加速工件的冷却效果，可简化设备结构，减少土建费用和便于维修。
6、能自动完成升温、保温等工艺过程，炉温采用微机智能可控硅调功控制，可采用可编程序控制器实现全部操作过程的自动程序控制和自动记录。
7、设有超温报警、防爆泄压、冷却水失压报警、应急气源等安全装置，使用安全可靠。
